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失效軸承的微觀分析包括光學金相分析、電子顯微鏡分析、探針和電子能譜分析等。主要是根據失效特征區的微觀組織結構變化和對疲勞源、裂紋源的分析為失效分析提供更充分的判據或反證。微觀分析中最常用、最普遍的方法是光學金相分析和對表面硬度檢測。分析的內容應包括：
　　
　　（1）材料質量是否符合有關標準和設計要求。
　　
　　（2）軸承零件的基本組織和熱處理質量是否符合有關要求。
　　
　　（3）表層組織是否存在脫碳層、托氏體和其他表面加工變質層。
　　
　　（4）測量滲碳層等表面強化層和多層金屬各層組織的深度，腐蝕坑或裂紋的形態與深度，并根據裂紋的形狀和兩側組織特征確定裂紋產生的原因及性質。
　　
　　（5）根據晶粒大小、組織變形、局部相變、重結晶、相聚集等判斷變形程度、溫升情況、材料種類及工藝過程等。
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